Technologies et composants MEMS
Technologies et composants MEMS
Ref. MCCH-06
1 JOUR (7H)
OBJECTIFS
- Comprendre les principes de fonctionnement des microsystèmes électromécaniques
- Connaître les différentes technologies
- Appréhender les bases de la mise en œuvre des MEMS dans les systèmes
- Connaître les applications et les dispositifs à base de MEMS
- Comprendre les techniques de fabrication et de simulation des MEMS
PUBLIC
- Ingénieurs, chercheurs travaillant dans les domaines liés à l’utilisation des MEMS
- Managers
ÉVALUATION
- Évaluation de satisfaction
- Attestation de fin de formation
- Contrôle de connaissances à la demande de l’employeur
INTERVENANTS
- Enseignants-chercheurs, intervenants industriels spécialistes microélectronique
THÈMES
- Panorama des microsystèmes électromécaniques
- Principes de bases : structure, élasticité, propriétés mécaniques…
- Capteurs et actionneurs
- Techniques de fabrication des MEMS RF
- Outils de simulation
- Dispositifs MEMS RF classiques (résonateurs, filtres, varicap…)
- Encapsulation
- Pour aller plus loin : systèmes RF reconfigurables, réglage des antennes, réseaux d’antennes…
MÉTHODES & MOYENS PÉDAGOGIQUES
- Apports théoriques
- Utilisation de softwares commerciaux
- Expérimentations
